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专注，稳定，共赢
为您提供专属的探针台测量方案
支持非标定制, 支持三方整合调用，打造软件硬件一体解决方案
专业的软件硬件设计团队
羲和探针台设计团队，积累了多年的设计和实施经验，可快速为您量身定制专有的软硬件系统，也可以支持数字化协同, 助力您打造全自动智能车间, 为贵团队的业绩增长赋能。
Service
MPS-X000系列全自动探针台系统
采用智能图像识别技术,实现自动扫描(对准)芯片,自动定位芯片首粒; 系统的MAP图所示芯粒同实际Wafer芯粒一一对应,精准鉴别,精准分析每个芯粒;系统提供诸多参数,对测试流程进行详细设置;对行业流行常用的测试仪表,我们均提供技术对接支持.
MPS150A-手动探针台
支持6寸盘片; 支持金相显微镜; 承片台部分可以单独外拉,3路真空单独控制;根据需求可以测量2寸,4寸,5寸,6寸盘片
MPS150C-手动探针台
最大支持6寸盘片; 万能显微镜支架; 3路真空单独控制,承片台部分可单独外拉;根据需求可以测量2寸,4寸,5寸,6寸盘片
MPS100C-手动探针台
最大适用于4寸盘片;可支持金相显微镜; 显微镜位置固定; 2路真空单独操控; 根据需求可测量2寸,4寸盘片
MPS100A-手动探针台
最大适用于4寸盘片;可支持金相显微镜; 显微镜三维可调; 2路真空单独操控; 根据需求可测量2寸,4寸盘片
APS-8000-A
支持8寸片芯片自动测试,自动图像识别,软件扫平,软件定位首粒,自动测试,遮光罩支持光敏器件测试,在线离线打点
APS-8000-B
支持8寸芯片自动测量,高压,高频测试,自动图像识别,软件扫平,软件定位首粒,遮光罩支持光敏器件测试,在线离线打点
APS-6000-A
支持6寸芯片测量,软件自动扫平,指定定位首粒,支持在线离线打点,支持第三方测试系统对本探针台的运动位置控制
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