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MPS150A-手动探针台
最大支持6寸盘片; 支持金相显微镜; 承片台部分可以单独外拉,3路真空单独控制;根据需求可以测量2寸,4寸,5寸,6寸盘片
MPS150B-手动探针台
最大支持6寸盘片; 显微镜可总体后仰; 3路真空单独控制,承片台部分可单独外拉;根据需求可以测量2寸,4寸,5寸,6寸盘片
MPS150C-手动探针台
最大支持6寸盘片; 万能显微镜支架; 3路真空单独控制,承片台部分可单独外拉;根据需求可以测量2寸,4寸,5寸,6寸盘片
MPS100A-手动探针台
最大适用于4寸盘片;可支持金相显微镜; 显微镜三维可调; 2路真空单独操控; 根据需求可测量2寸,4寸盘片
MPS100B-手动探针台
最大适用于4寸盘片;显微镜位置固定; 显微镜可总体后仰; 2路真空单独操控; 根据需求可测量2寸,4寸盘片;
MPS100C-手动探针台
最大适用于4寸盘片;可支持金相显微镜; 显微镜位置固定; 2路真空单独操控; 根据需求可测量2寸,4寸盘片
| 探针台型号-150A | 性能参数 | 技术指标 | |
|---|---|---|---|
| MPS150A | 可测圆片尺寸 | 2″、3″、4″、6″ | |
| 工作台 | 行程 | 155mm×155mm | |
| 结构 | 精密直线导轨，滚珠丝杠 | ||
| 分辨率 | 0.001mm-0.01mm（根据需求丝杆导程可选） | ||
| 操作方式 | 手轮 | ||
| 承片台 | 抽屉外拉 | 支持承片台总体抽屉外拉 | |
| 吸片方式 | 真空吸附 | ||
| Z向接触/分离 | 行程0.5mm | ||
| θ向微调范围 | ±15度 | ||
| 显微镜 | 位置调整 | 显微镜位置三维可调 | |
| 放大系数 | 双目体视显微镜90X | ||
| 照明灯 | LED环形灯 | ||
| 相关配件 | 测试探针 | 高弹性钨针 | |
| 三维针座 | 磁性吸附式，可调范围：x: ±6.5mm， y: ±6.5mm，z: ±6.5mm | ||
| 外形尺寸 | 500mm×500mm×550mm（长×宽×高） | ||
| 设备重量 | 约30 KG | ||
| 使用环境 | 电源 | AC 220V±22V 50Hz±1Hz | |
| 功率 | 0.05kW |
||
| 真空 | -80 KPa | ||
| 环境温度 | 15ºC-30ºC | ||
| 相对湿度 | ＜70% | ||
| 探针台型号-150B | 性能参数 | 技术指标 | |
|---|---|---|---|
| MPS150B | 可测圆片尺寸 | 2″、3″、4″、6″ | |
| 工作台 | 行程 | 155mm×155mm | |
| 结构 | 精密直线导轨，滚珠丝杠 | ||
| 分辨率 | 0.001mm-0.01mm（根据需求丝杆导程可选） | ||
| 操作方式 | 手轮 | ||
| 承片台 | 抽屉外拉 | 支持承片台总体抽屉外拉 | |
| 吸片方式 | 真空吸附 | ||
| Z向接触/分离 | 行程0.5mm | ||
| θ向微调范围 | ±15度 | ||
| 显微镜 | 位置调整 | 显微镜位置三维可调 | |
| 显微镜总体后仰 | 支持显微镜模块总体后仰 | ||
| 放大系数 | 双目体视显微镜90X | ||
| 照明灯 | LED环形灯 | ||
| 相关配件 | 测试探针 | 高弹性钨针 | |
| 三维针座 | 磁性吸附式，可调范围：x: ±6.5mm， y: ±6.5mm，z: ±6.5mm | ||
| 外形尺寸 | 500mm×500mm×550mm（长×宽×高） | ||
| 设备重量 | 约30 KG | ||
| 使用环境 | 电源 | AC 220V±22V 50Hz±1Hz | |
| 功率 | 0.05kW |
||
| 真空 | -80 KPa | ||
| 环境温度 | 15ºC-30ºC | ||
| 相对湿度 | ＜70% | ||
| 探针台型号-150C | 性能参数 | 技术指标 | |
|---|---|---|---|
| MPS150C | 可测圆片尺寸 | 2″、3″、4″、6″ | |
| 工作台 | 行程 | 155mm×155mm | |
| 结构 | 精密直线导轨，滚珠丝杠 | ||
| 分辨率 | 0.001mm-0.01mm（根据需求丝杆导程可选） | ||
| 操作方式 | 手轮 | ||
| 承片台 | 抽屉外拉 | 支持承片台总体抽屉外拉 | |
| 吸片方式 | 真空吸附 | ||
| Z向接触/分离 | 行程0.5mm | ||
| θ向微调范围 | ±15度 | ||
| 显微镜 | 固定方式 | 万能显微镜支架,固定前可任意调整,不支持运行中三维调整 | |
| 放大系数 | 双目体视显微镜90X | ||
| 照明灯 | LED环形灯 | ||
| 相关配件 | 测试探针 | 高弹性钨针 | |
| 三维针座 | 磁性吸附式，可调范围：x: ±6.5mm， y: ±6.5mm，z: ±6.5mm | ||
| 外形尺寸 | 500mm×500mm×550mm（长×宽×高） | ||
| 设备重量 | 约30 KG | ||
| 使用环境 | 电源 | AC 220V±22V 50Hz±1Hz | |
| 功率 | 0.05kW |
||
| 真空 | -80 KPa | ||
| 环境温度 | 15ºC-30ºC | ||
| 相对湿度 | ＜70% | ||
| 探针台型号-100A | 性能参数 | 技术指标 | |
|---|---|---|---|
| MPS100A | 可测圆片尺寸 | 2″、3″、4 | |
| 工作台 | 行程 | 111mm×111mm | |
| 结构 | 精密直线导轨，滚珠丝杠 | ||
| 分辨率 | 0.001mm-0.01mm（根据需求丝杆导程可选） | ||
| 操作方式 | 手轮 | ||
| 承片台 | 抽屉式外拉 | 支持抽屉式外拉功能 | |
| 吸片方式 | 真空吸附 | ||
| Z向接触/分离 | 行程0.5mm | ||
| θ向微调范围 | ±15度 | ||
| 显微镜 | 位置调整 | 显微镜位置三维可调 | |
| 放大系数 | 双目体视显微镜90X | ||
| 照明灯 | LED环形灯 | ||
| 相关配件 | 测试探针 | 高弹性钨针 | |
| 三维针座 | 磁性吸附式，可调范围：x: ±6.5mm， y: ±6.5mm，z: ±6.5mm | ||
| 外形尺寸 | 500mm×500mm×550mm（长×宽×高） | ||
| 设备重量 | 约20 KG | ||
| 使用环境 | 电源 | AC 220V±22V 50Hz±1Hz | |
| 功率 | 0.05kW |
||
| 真空 | -80 KPa | ||
| 环境温度 | 15ºC-30ºC | ||
| 相对湿度 | ＜70% | ||
| 探针台型号-100B | 性能参数 | 技术指标 | |
|---|---|---|---|
| MPS100B | 可测圆片尺寸 | 2″、3″、4″ | |
| 工作台 | 行程 | 111mm×111mm | |
| 结构 | 精密直线导轨，滚珠丝杠 | ||
| 分辨率 | 0.001mm-0.01mm（根据需求丝杆导程可选） | ||
| 操作方式 | 手轮 | ||
| 承片台 | 吸片方式 | 真空吸附 | |
| Z向接触/分离 | 行程0.5mm | ||
| θ向微调范围 | ±15度 | ||
| 显微镜 | 总体后仰 | 显微镜模块支持总体后仰 | |
| 放大倍率 | 双目体视显微镜90X | ||
| 照明灯 | LED环形灯 | ||
| 相关配件 | 测试探针 | 高弹性钨针 | |
| 三维针座 | 磁性吸附式，可调范围：x: ±6.5mm， y: ±6.5mm，z: ±6.5mm | ||
| 外形尺寸 | 500mm×500mm×550mm（长×宽×高） | ||
| 设备重量 | 约20 KG | ||
| 使用环境 | 电源 | AC 220V±22V 50Hz±1Hz | |
| 功率 | 0.05kW |
||
| 真空 | -80 KPa | ||
| 环境温度 | 15ºC-30ºC | ||
| 相对湿度 | ＜70% | ||
| 探针台型号-100C | 性能参数 | 技术指标 | |
|---|---|---|---|
| MPS100C | 可测圆片尺寸 | 2″、3″、4″ | |
| 工作台 | 行程 | 111m×111mm | |
| 结构 | 精密直线导轨，滚珠丝杠 | ||
| 分辨率 | 0.001mm-0.01mm（根据需求丝杆导程可选） | ||
| 操作方式 | 手轮 | ||
| 承片台 | 吸片方式 | 真空吸附 | |
| Z向接触/分离 | 行程0.5mm | ||
| θ向微调范围 | ±15度 | ||
| 显微镜 | 放大系数 | 双目体视显微镜90X | |
| 照明灯 | LED环形灯 | ||
| 相关配件 | 测试探针 | 高弹性钨针 | |
| 三维针座 | 磁性吸附式，可调范围：x: ±6.5mm， y: ±6.5mm，z: ±6.5mm | ||
| 外形尺寸 | 500mm×500mm×550mm（长×宽×高） | ||
| 设备重量 | 约15 KG | ||
| 使用环境 | 电源 | AC 220V±22V 50Hz±1Hz | |
| 功率 | 0.05kW | ||
| 真空 | -80 KPa | ||
| 环境温度 | 15ºC-30ºC | ||
| 相对湿度 | ＜70% | ||
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