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产品详细介绍

高低温真空腔探针系统
        高低温真空腔探针系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境,以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中。
标 技术参数  

 载片台:直径36mm ,具有Guard保护功能,温控稳定时间小于30分钟。
 载片台温度范围:5k-475k,温控精度:<0.05K。
 观察窗:直径40mm,样品到显微镜物镜最小距离8mm。
  真空腔真空度:< 5X10-4Torr,配隔振水平安装底座。
 外置探针座:三维调节范围:±5mm(X、Y、Z),分辨率:5μm,多探针座具有同时升、降(接触/分离0.66mm)功能设计(见前图示)。
 探针接头:三同轴Triaxial Tubular-2.0插头连接,具有Guard保护功能,适合fA级测试,50欧姆传输阻抗。
 控温仪:四通道,可同时对样品台、防辐射屏和探针臂进行控制和监视。
 显微镜调节机构:具有多维度调节,X方向± 45mm,Y方向± 45mm,Z方向30mm,整体后仰角20 o可调,显微镜的前后倾角为30度。
  光学观测系统:三目体视显微镜(分辨率小于5μm)、同轴灯和环形灯及电源、配接130万像素彩色CCD、20″彩色监视器。

标  配件  

  减震工作台
  液氮/氦杜瓦
  三目显微镜(带CCD视频系统)
  分子泵
  控制机柜

 
该机型可针对用户需求进行定制,欢迎来电咨询:010-60290891。
 

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