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产品详细介绍

手动探针台

    XH-PS150设备是简易手动探针台,用于为各种半导体芯片、微波器件等提供一个光、电参数测试、分析的平台,可吸附多种规格的圆片及单芯片,并提供可调测试针及探卡测试针座。适用于大学、实验室、大生产线对芯片进行科研分析、抽查测试等用途。

技术指标    

性能名称

技术指标

可测圆片尺寸

2″、3″、4″、6″

工作台

行程

155mm×155mm

结构

精密直线导轨,滚珠丝杠

分辨率
0.001mm-0.01mm(根据需求丝杆导程可选)

操作方式

手轮

承片台Z向

接触/分离

行程 0.5mm

承片台θ向

微调范围

±15°

吸片盘

吸片方式

真空吸附

显微镜
显微镜
双目体视显微镜45X
照明灯
LED环形灯

相关配件

打点器

可调三维座,驱动DC24V

测试探针
高弹性钨针
三维针座

磁性吸附式,可调范围:x: ±6.5mm, y: ±6.5mm,

z: ±6.5mm
设备重量

约30 KG

外形尺寸

500mm×500mm×550mm(长×宽×高)

使用环境
电源
AC 220V±22V 50Hz±1Hz
功率
0.05kW
真空
-80 KPa
环境温度
15oC-30oC
相对湿度
<60%
图片
   
 
   
 

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