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产品详细介绍

半自动探针台

XH-AP150半自动探针台与测试仪配接后,能自动完成对芯片的电参数测试。

产品特点    

计算机配置Win XP操作系统;
光隔离专用接口、GPIB接口;
MAP图动态显示测试全过程;
测试结果数据库存储、查询;
同步、延时、离线打点方式;
圆形、探边等多种测试方式;
遮光罩针对光敏器件的测试;
接驳高分辨率CCD视频显示;
图像识别自动对准测试位置;

技术指标    

性能名称

技术指标

可测片径

4″、5″、6″

工作台

定位精度

≤±0.015mm

步进分辨率

0.001mm

承片台

Z向行程

8mm

Z向定位精度

≤±0.005mm

Z向分辨率

0.001mm

θ向调节范围

±10°

θ向分辨率

0.001°

观察装置

双目体视显微镜
放大倍数7.5X~45X

遮光罩装置(适合对光敏感器件的遮光测试)

选配

上、下片方式

手动方式

外形尺寸(宽×深×高)

750mm×700mm×1500mm

环境要求    

电源:AC 220V±22V 50Hz±1Hz,功率:<0.8KW,真空:< -80 KPa 
温度:10℃-30℃ 相对湿度:<60%

 

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