手动探针台

为各类芯片及器件提供精准的夹具及三维探针对准功能

产品特性

 

MPS150A设备是增强型手动分析探针台,用于为各种半导体芯片、微波器件等提供一个光、电参数测试、分析的平台,可吸附多种规格的圆片及芯片,并提供可调测试针及探卡测试针座。适用于大学、实验室、大生产线对芯片进行科研分析、抽查测试等用途。

技术指标

性能名称 技术指标
可测圆片尺寸 2″、3″、4″、6″
工作台 行程 160mm×160mm
结构 精密高刚性直线导轨,滚珠丝杠
分辨率 0.001mm-0.01mm(根据需求丝杆导程可选)
操作方式 手轮
承片台 Z向接触/分离 行程0-3mm
Z向粗调行程 10mm
θ向微调范围 ±15度(360度可选)
针座平台 升、降行程 0.66mm
接触/分离 真空吸附
吸片盘 吸片方式 真空吸附
分档 (2″、3″)、4″、6″单独真空吸附,三档可选
上、下片方式 快速抽屉式上、下片
显微镜微调支架 X方向± 45mm,Y方向± 45mm,Z方向30mm,整体后仰角20 º可调,显微镜的前后倾角为30º
外形尺寸 610mm×560mm×500mm(长×宽×高)
设备重量 约40 KG
使用环境 电源 AC 220V±22V   50Hz±1Hz
功率 0.05kW
真空 -80 KPa
环境温度 15ºC-30ºC
相对湿度 <60%

产品特性

XH-MP150B设备是增强型手动分析探针台,用于为各种半导体芯片、微波器件等提供一个光、电参数测试分析的平台,可吸附多种规格的圆片及芯片,并提供可调测试针及探卡测试针座。适用于大学、实验室、大生产线对芯片进行科研分析、抽查测试等用途。设备可代替美国CASCADE公司的EPS150系列的手动探针台。

技术指标

性能名称 技术指标
可测圆片尺寸 2″、3″、4″、6″
工作台 行程 160mm×160mm
结构 精密高刚性直线导轨,滚珠丝杠
分辨率 0.001mm-0.01mm(根据需求丝杆导程可选)
操作方式 手轮
承片台 Z向接触/分离 行程0-3mm(可分三档)
θ向微调范围 ±5 º微调(360 º粗调)
针座平台 升、降行程 30mm
接触/分离 0.66mm
吸片盘 吸片方式 真空吸附
分档 (2″、3″)、4″、6″单独真空吸附,三档可选
上、下片方式 快速抽屉式上、下片
显微镜及配件 立柱式支架 前、后,上、下、旋转,仰角四维可调
显微镜 双目体视显微镜90X
照明灯 LED环形灯
外形尺寸 610mm×560mm×500mm(长×宽×高)
设备重量 约40 KG
使用环境 电源 AC 220V±22V   50Hz±1Hz
功率 0.05kW
真空 -80 KPa
环境温度 15ºC-30ºC
相对湿度 <60%

产品特性

XH-MP150C 设备是增强型手动分析探针台,用于为各种半导体芯片、微波器
件等提供一个光、电参数测试、分析的平台,可吸附多种规格的圆片及芯片,并
提供可调测试针及探卡测试针座。适用于大学、实验室、大生产线对芯片进行科
研分析、抽查测试等用途。

技术指标

性能名称 技术指标
可测圆片尺寸 2″、3″、4″、6″
工作台 行程 160mm×160mm
结构 精密高刚性直线导轨,滚珠丝杠
分辨率 0.001mm-0.01mm(根据需求丝杆导程可选)
操作方式 手轮
承片台 Z向接触/分离 行程0.5mm
θ向微调范围 ±15度
吸片盘 吸片方式 真空吸附
分档 (2″、3″)、4″、6″单独真空吸附,三档可选
显微镜及配件 立柱式支架 前、后,上、下、旋转,仰角四维可调
显微镜 双目体视显微镜 45X
照明灯 LED 环形灯
相关配件 打点器 可调三维座,驱动DC24V
测试探针 高弹性钨针
三维针座 磁性吸附式,可调范围:x: ±6.5mm,y: ±6.5mm,z: ±6.5mm
外形尺寸 610mm×560mm×500mm(长×宽×高)
设备重量 约30 KG
使用环境 电源 AC 220V±22V 50Hz±1Hz
功率 0.05kW
真空 -80 KPa
环境温度 15ºC-30ºC
相对湿度 <70%

产品特性

XH-PS150设备是简易手动探针台,用于为各种半导体芯片、微波器件等提供一个光、电参数测试、分析的平台,可吸附多种规格的圆片及单芯片,并提供可调测试针及探卡测试针座。适用于大学、实验室、大生产线对芯片进行科研分析、抽查测试等用途。

技术指标

性能名称 技术指标
可测圆片尺寸 2″、3″、4″、6″
工作台 行程 155mm×155mm
结构 精密直线导轨,滚珠丝杠
分辨率 0.001mm-0.01mm(根据需求丝杆导程可选)
操作方式 手轮
承片台 Z向接触/分离 行程0.5mm
θ向微调范围 ±15度
显微镜 显微镜 双目体视显微镜90X
照明灯 LED环形灯
吸片盘 吸片方式 真空吸附
相关配件 测试探针 高弹性钨针
三维针座 磁性吸附式,可调范围:x: ±6.5mm, y: ±6.5mm,z: ±6.5mm
外形尺寸 500mm×500mm×550mm(长×宽×高)
设备重量 约30 KG
使用环境 电源 AC 220V±22V   50Hz±1Hz
功率 0.05kW
真空 -80 KPa
环境温度 15ºC-30ºC
相对湿度 <70%

精密三维探针座

性能名称 技术指标
结构 交叉滚珠导轨,千分尺结构
分辨率精度 10μm
可调范围

x: ±6.5mm

y: ±6.5mm

z: ±6.5mm

可开关磁力座

外形尺寸 65mm×65mm×20mm(长×宽×高)

三维探针座

性能名称 技术指标
分辨率精度

30μm

可调范围

x: ±6.5mm
y: ±6.5mm
z: ±6.5mm