自动探针台

实现原型、方形、异形晶圆的自动对准,自动电学测量

技术性能

XH-AP150台半自动探针台能与测试仪配接后,自动完成对芯片的电参数测试。
  • 计算机配置Win XP操作系统
  • 光隔离专用接口、GPIB接口
  • MAP图动态显示测试全过程
  • 测试结果数据库存储、查询
  • 同步、延时、离线打点方式
  • 圆形、探边等多种测试方式
  • 遮光罩针对光敏器件的测试
  • 接驳高分辨率CCD视频显示
  • 图像识别自动对准测试位置
  • 技术指标

    性能名称 技术指标
    可测片径 4″、5″、6″
    工作台 定位精度 ≤±0.015mm
    进步分辨率 0.001mm
    承片台 Z向行程 8mm
    Z向定位精度 ≤±0.005mm
    Z向分辨率 0.001mm
    θ向调节范围 ±10°
    θ向分辨率 0.001°
    观察装置 双目体视显微镜 ,放大倍数7.5X~45X
    遮光罩装置(适合对光敏感器件的遮光测试) 选配
    上、下片方式 手动方式
    外形尺寸(宽×深×高) 750mm×700mm×1500mm
    使用环境要求 电源 AC 220V±22V 50Hz±1Hz
    功率 <0.8KW
    真空 < -80 KPa
    温度 10ºC-30ºC
    湿度 <60%

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